微波殺菌設備的微波管工作需要高真空環(huán)境：微波管是一種放大微波信號的電真空器件，主要包含電子槍、慢波系統、聚束系統、輸能裝置和收集極這五個(gè)基本功能部件。

電子槍的功能是由陰極產(chǎn)生電子束，然后利用聚焦極、陽(yáng)極把電子束會(huì )聚、加速，形成一定截面形狀、尺寸和能量的電子注。

慢波系統是用來(lái)減慢電磁波沿管子傳播速度的裝置，使電子注和高頻電磁場(chǎng)的相互作用，把電子束的能量轉換為的高頻微波能量，使微波管能完成信號放大作用。

聚束系統利用磁場(chǎng)約束電子注的發(fā)散，使其順利穿過(guò)慢波系統。輸能裝置是被放大微波信號的入口和出口。

收集極用來(lái)收集穿越慢波系統完成能量交換作用后的電子注電流。

可見(jiàn)，微波管利用電場(chǎng)、磁場(chǎng)來(lái)控制電子束在其內部運動(dòng)，使電子束產(chǎn)生、加速、運動(dòng)、收集以及和信號相互作用，以至達到信號放大的目的。因此，避免電子對氣體分子間的碰撞，呆證電子在微波管內部的運動(dòng)規律，方止發(fā)射熱電子的陰極氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保證微波管的正常工作，是絕對必要的。微波管的整個(gè)壽命期間要求維持高真空或超高真空狀態(tài)。真空度的好環(huán)直接影響到微波管的可靠性能。

微波管中在排管處增加小離子泵（鈦泵）和在電子槍處增加吸氣劑，同微波管一起排氣，排氣系統工藝要求高溫烘烤，對吸氣劑進(jìn)行激活，排氣過(guò)程同時(shí)對鈦泵也進(jìn)行了排氣，在冷封離后管內的殘余氣體及管內零件重新釋放出來(lái)的氣體，由鈦泵和吸氣劑共同抽除，維護管內的真空度。在后續的工許過(guò)程中，發(fā)現有微露氣的情況下，鈦泵的電流還能幫助檢測出微漏點(diǎn)，從而方便了生產(chǎn)，降低了微波管的報廢率。在增加吸氣劑的微波管中，電子槍高壓打火的幾率大大減少，長(cháng)時(shí)間儲存后，對微波管直接加電而不出現放氣或大伙現象。

可見(jiàn)，獬射離子泵、鈦泵和吸氣劑等吸附真空泵在微波殺菌設備的生產(chǎn)制造中，提高和維持了高真空度，從而提高了微波管的可靠性，增加了使用壽命。